三坐標測量儀除了定位誤差,直線度誤差,角運動誤差,垂直度誤差這四個幾何誤差之外，還有由于力變形、熱變形、測量系統(tǒng)、測頭系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)記錄和處理系統(tǒng)產(chǎn)生的誤差：

1．力變形誤差

三坐標測量儀作為一種精密測量儀器應有較高的剛性，使力變形不成為影響三坐標測量儀測量精度的重要因素。但隨著各行業(yè)生產(chǎn)節(jié)奏的加快，對三坐標測量的效率要求也提高了，包括較高的運動速度和探測速度，這就要求它的運動部件質量要輕，但這與提高構件的剛度存在矛盾。

2．熱變形誤差

要了解三坐標測量儀的熱變形，首先要對儀器及被測物件及環(huán)境的溫度進行測量。為了實現(xiàn)熱變形誤差補償，需要在三根標尺上、被測件上貼測溫元件，在空氣中也需放置測溫元件，以檢查環(huán)境溫度及溫度梯度是否符合要求。只有在環(huán)境溫度符合要求時，檢驗測量儀的性能才有意義，同時三坐標測量儀的測量精度誤差也會大大減少。如果條件允許，測量建議您可以把儀器放置在恒溫室里，控制好室內的溫度和濕度即可。

為了實現(xiàn)誤差補償，除了測量溫度外，還必須知道標尺和被測件的等效線膨脹系數(shù)。所謂等效線膨脹系數(shù)是指實際機器中除與材料有關，還和固定方式有關，所以通過實測得到等效線膨脹系數(shù)既可以更好地反映標尺的使用狀態(tài)及熱變形誤差現(xiàn)狀，又符合一致性原則，因為采用同一測溫元件確定等效線膨脹系數(shù)和進行誤差補償，消除了測溫元件溫度標定誤差的影響。

3．測頭及附件誤差    

三坐標測量儀的位移量z是被測尺寸L與測端等效直徑d的和(測量外尺寸)或差(測量內尺寸)，因此測端等效直徑的標定具有重要意義。測端等效直徑的標定方法是用測頭測量尺寸經(jīng)過標定的標準球或量塊，儀器移動量與標準球或量塊尺寸之差即為測端等效直徑。需要指出的是：由于測桿的彈性變形對測球的等效直徑影響很大，因此更換測桿、加接長桿、接轉接體或回轉體轉動角度后，都要對測端的等效直徑進行重新標定。